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关于滤光片的硬膜和软膜

点击次数:647 发布时间:2019-07-07

软镀膜
软镀膜是多层薄膜,由硫化锌、冷冻剂、有时甚至是银组成。对于传统的干涉滤光片,镀膜组件被层压在一个垂直的堆栈中,以提供抵御周围环境的保护,通常是从较大的晶圆上取下。考虑到所使用的材料和制造工艺,软镀膜易碎。镀膜材料经常被从滤光片的边缘移除,以避免镀膜因潮湿而退化,并增加镀膜的使用期限。
 
软镀膜的成本是由低成本的沉积设备、快速循环时间和低价的基片来保持,但是由于密封和环形组件,操作成本很高。
软镀膜如果小批量出产,成本较高,如果产生一定批量的出产,会大大降低成本。
 
硬镀膜
硬镀膜薄膜是利用等离子沉积过程制作而成的,与软镀膜相比,它具有多个优势。等离子沉积过程是用计算机严格控制的,它甚至可以实现分层,拥有良好的环境适应性和更好的性能。例如,作为波长的一个函数,硬镀膜的透光率不仅更加一致,而且通常高于软镀膜的透光率
硬镀膜在可见光谱和紫外线中具有超过 90% 的透射率。另一方面,软镀膜无法达到 90% 的透射率,并且性能在紫外线附近显著下降。此外,起始和截止转换还有一些改进。软镀膜有个渐进的过渡,从没有透射率过渡到*透射率,而硬镀膜的过渡更陡.

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